











LithoBlack
- Sehr geringe Reflektivität
- Einstellbarer elektrischer Widerstand - Leiter oder Isolator
- 3 Mikrometer Kenngrößen
- Extrem niedrige Ausgasung
- Kompatibilität mit lithografischen Prozesschemikalien (Details auf Anfrage)
- Keine Partikelkontamination
Spezifikationen
Haftfähigkeit
Metall, Glas, Keramik, Polymere
Haftfestigkeitsprüfung (gemäß ECSS-Q-ST-13C)
Beschichtete Teile halten dem Scotch-Tape-Test stand (3M853 Kristallklares Klebeband, Stärke von 13N pro 25mm), ohne jeglichen Hinweis auf Entschichtung.
Ausgasung CVCM (%)
0.001
Ausgasung RML (%)
0.2
Chemischer Inhalt der Beschichtung
komplett anorganisch
Oberflächenresistenz
≤2X10^6Ω/□
Reinigung
Beschichtete Teile halten der Reinigung mit Ethanol, IPA oder Aceton ohne Veränderung der optischen und technischen Eigenschaften stand. MagicBlack™, MetalVelevt™ und LithoBlack™ sollten nur sehr vorsichtig gereinigt werden.
Teileform
3D
Feuchtigkeitsbeständigkeit
MIL-C- 48497A
Zertifizierungen
ROHS, REACH, ISO 9001:2015, AS9100
Typische Eigenschaften
Operative Wellenlängen
EUV-NIR
Beschichtungsdicke
0,8-2
N/A-Emissionsgrad
(3-10µm)
Einsatztemperatur (°C)
-269°C bis 380°C
Einsatztemperatur (°K)
4°K bis 653°K
Gewicht der Beschichtung
0,3 - 1,1 (mg/cm²)
Moderate Abriebfestigkeit
(gemäß MIL-C-48497A)
Zusätzliche Details
Litho-Black kombiniert sehr hohe Absorption im UV-, VIS- und IR-Wellenlängenbereich mit der Kompatibilität zur photolithografischen Verarbeitung. Litho-Black besteht ausschließlich aus Nichteisenmetallen und Nichteisenmetalloxiden, ist vollständig anorganisch und enthält keine organischen Materialien oder andere Chemikalien. Bei der Herstellung der Beschichtungen werden keine derartigen Materialien verwendet.
Anwendungen:
1 IR-Pyroelektrische Detektor-Array-Wafer:
- Mehr IR-absorbiert
- Mehr Wärme in die Pyro-Schicht
- Höhere Detektorempfindlichkeit
2 1024 Element-ungekühlter Linear Array Wafer:
- Elektrisch isolierende, reflexionsarme Beschichtung, die die gesamte Oberfläche bedeckt, so dass maßgenaue Fenster über den Elementen verbleiben.
- Erzeugt eine gleichmäßige Elementbreite für eine einheitliche Elemente-Response durch Abdecken der Ersatzkanten.
- Unempfindliche Bereiche mit einer Beschichtung mit niedrigem Reflexionsvermögen zur Unterdrückung von Streulicht.