Acktar Core Black TM Beschichtung

Für Wafer-Chucks und die Montage von Komponenten

  • Langlebig strapazierfähig
  • ESD-sicher
  • Hohe Ebenheit
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Wesentliche Merkmale

 

  • Ultraschwarze Beschichtung: Absorbiert 99 % des Lichts, reduziert Streulicht und Reflexionen und ist somit ideal für empfindliche optische Systeme und Präzisionsanwendungen
  • Breitbandige Absorption: Wirksam von EUV über VIS bis FIR und bietet Vielseitigkeit für verschiedene Anwendungen
  • Diffusive Oberfläche: Bietet überlegene Lichtstreueigenschaften, wodurch minimales Streulicht, keine Geisterbilder und nahezu kein Hintergrundrauschen gewährleistet werden
  • Thermische Stabilität: Hält einem breiten Temperaturbereich stand – 4K – 723 K, wodurch es für Umgebungen von kryogenen bis zu Hochtemperaturanwendungen geeignet ist
  • Geringe Ausgasung: CVCM unter 0,001 %. Ideal für UHV-Vakuumumgebungen, wie z. B. Halbleiter- und Weltraumanwendungen, bei denen Kontamination minimiert werden muss
  • Ultra-sauber partikelfrei:
    • Typische Sauberkeitswerte: MOC ~ 1 ng/cm2, PAC < 30 ppm
    • Perfekt für Anwendungen, bei denen Sauberkeit entscheidend ist und die strengen Anforderungen der Halbleiter- und optischen Fertigung erfüllt werden
  • ESD-sicher: Acktar Core Black TM liegt im dissipativen Bereich und bietet Schutz vor elektrostatischer Entladung (ESD), wodurch die Sicherheit empfindlicher elektronischer Bauteile gewährleistet wird
  • Hohe Ebenheit: Gewährleistet eine Ebenheit von 2-3 Mikrometern
  • Langlebig & strapazierfähig: Acktar Core Black TM ist außergewöhnlich langlebig und gewährleistet eine lang anhaltende Leistung auch unter schwierigen Bedingungen
  • Beschichtung:
    • Dicke <5 μm, Gewicht 1 mg/cm2
    • 100 % anorganisch
  • Zertifikate: RoHS, REACH, ISO 9001:2015, AS9100
Vorteile

 

  • Präzisionsbeschichtung: Gewährleistet eine gleichbleibende Leistung über die gesamte Chuck-Oberfläche und sorgt für Genauigkeit bei optischen und Halbleiterprozessen.
  • Kundenspezifische Maskierung verfügbar: Die Beschichtung kann je nach Ihren Anforderungen selektiv aufgetragen werden, um Bereiche zu schützen, die keine Beschichtung benötigen.
  • Breite Kompatibilität: Geeignet für verschiedene Substrate, einschließlich Metalle, Keramiken, Glas, Polymere und mehr!
  • Bewährter Einsatz in der Industrie: Acktar-Beschichtungen werden von führenden Unternehmen in der Halbleiter-, Optik-, Raumfahrt- und Automobilindustrie eingesetzt.
Verfügbare Größen

 

  • Mit Core BlackTM beschichtete Chucks werden in verschiedenen Standardgrößen von 3 Zoll bis 12 Zoll angeboten, um Ihren spezifischen Anwendungsanforderungen gerecht zu werden
Anwendungen
  • Wafer-Chucks Verarbeitung: Gewährleistet hohe Präzision bei der Waferhandhabung und Inspektionsprozessen.
  • Komponentenmontage & -prüfung: Dank ihrer diffusen und langlebigen Eigenschaften für die Montage und Prüfung verschiedener optischer und elektronischer Komponenten geeignet.
  • Laseranwendungen: Hohe Absorption und streuende Eigenschaften machen es hervorragend für laserbasierte Systeme geeignet.
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